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阿波罗高性能激光标定系统(ApolloA)

阿波罗高性能激光标定系统(ApolloA)

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阿波罗激光标定系统 (5)

　　搭配高性能显微系统

　　高功率电控镭射标定，破坏，切割系统

　　全电控操控检测系统

　　电控六孔鼻轮

　　电控明/暗视野观察切换

　　电动粗细z轴调整

　　电动记忆孔径与视野光圈

　　晶圆载物台

　　电动或手动418112寸载物台(电动载物台附自动中心点复位功能)

　　物镜碰撞警示装置

　　外部控制装置，控制所有电控装置与参数调整

　　最高样品含载具高度30mm，可扩充至90mm

　　CMOS摄像

　　软件控制自动对焦功能(选配)

　　量测软件(选配).

　　特制光学耦合分光元件，提供光学观察与镭射标定系统使用

 

 

 

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